概述：
5½ 位 6514 型和 6517B 型静电计提供 1fA 灵敏度，输入阻抗 >200TΩ 的电压测量，以及低至 10fC 的电荷测量。6½ 位 6430 型亚 fA 远程 SourceMeter SMU 仪器能够以 1aA 的灵敏度测量电流。其噪声低、偏差小，非常适用于研究单电子器件、高电阻纳米线和纳米管、聚合物以及电化学应用。
特点：
·超低噪声（6430 为 0.4fAp-p，6517B 和 6514 <1fA），确保对设备和材料研
究中常见的超低电流实现更精确的测量
·高达 1016Ω 的电阻测量 (6517B)，精确测量超高电阻材料和绝缘体
·远程预放大器可以位于信号源 (6430)
·低输入端压降，消除影响低电流测量精度的误差
·内置 ±1kV 电压源，提供扫描功能 (6517B)
·适用于测量试样材料的体积和表面电阻的选配 8009 型电阻率测试盒 (6517B) 防止您接触潜在危险电压 — 打开测试盒盖子时自动关闭仪器的电压源
·即使在低电平信号上也能实现高测量速度
·可编程数字 I/O 和内置接口 简化构建自动化元器件测试系统的过程
技术指标：
6430
电流：10aA - 100mA
电压：1µV - 200V
电阻：1µΩ - >20TΩ
源：0 - ±200V
0 - ±100mA
